SPP600S
Máquina pulidora: equipada con una amplia gama de programas informáticos para investigación y desarrollo.
Concepto
Equipos CMP fáciles de usar y diseñados teniendo en cuenta la facilidad de uso y las consideraciones medioambientales
Característica
Este sistema CMP de tipo manual es ideal para aplicaciones de investigación y desarrollo. Admite varios métodos de control de presión basados en la superficie frontal o posterior. Su interfaz fácil de usar le permite supervisar todas las condiciones de procesamiento en una sola pantalla.
・Los ajustes de tiempo primarios garantizan una recopilación de datos consistentemente estable. Los datos obtenidos de esta unidad pueden vincularse con la pulidora totalmente automática PNX332B y utilizarse directamente.
Incluso al rectificar con una velocidad de eliminación de 10μm o más, la forma de la oblea no se verá comprometida. Cuenta con un husillo de rectificado específico y es compatible con rectificadores de diamante.
Además, incorpora elementos de diseño respetuosos con el medio ambiente, como un mecanismo de reciclaje de lodos.
Especificaciones técnicas
| Tamaño máx. de la pieza / oblea (mm) | Ø200 |
| Tamaño máx. de la oblea (pulgadas) | 4"-12" |
| Diámetro del plato (mm) | Ø600 |
| Obleas procesadas simultáneamente (unidades) | 2 |
| Velocidad de rotación del plato (min-¹) | 10-80 |
| Huella Anchura×Profundidad×Altura (mm) | 1380×1110×1873 |
| Peso de la máquina (kg) | 2100 |
