PNX332B
Un pulidor final automático para obleas de 300 mm que maximiza la precisión del perfil de los bordes y la uniformidad de la tasa de eliminación al nivel más alto posible.
CONCEPTO
Una pulidora final que adopta un cabezal de pulido y un mecanismo de transporte especialmente estructurados, lo que permite un procesamiento estable de las obleas con gran precisión y alto rendimiento.
CARACTERÍSTICAS
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La pulidora final de 300 mm más vendida.
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Logra un pulido a nivel atómico de ultra-espejo y ultra-alta luminosidad.
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Con tres mesas de pulido, esta máquina de alta productividad pule simultáneamente seis obleas desde las etapas intermedias hasta las de acabado, y utiliza un sistema de transporte indexado para mover cuatro obleas al mismo tiempo.
Especificaciones técnicas
| Tamaño máximo de la oblea (mm) | Ø300 mm |
| Obleas procesadas simultáneamente (unidades) | 10 |
| Mesas de pulido / escenarios | 3 mesas, 6 obleas pulidas a la vez |
| Método de transporte | Transporte indexado, 4 obleas movidas a la vez |
| Aplicación | Pulido final de obleas de silicio |
