Serie SPP
Lucidatrice - Lucidatrice a passo extra-large.
Caratteristiche
[SPP9600]
・La lucidatrice a passo è un dispositivo in grado di lavorare superfici che richiedono una planarità assoluta e finiture a specchio, come i piani ottici, gli specchi ad alta precisione, il vetro ottico e le superfici di riferimento di base degli strumenti di misura di precisione per prodotti metallici.
La planarità ottenuta da questo dispositivo è di 30 nm per metro quadrato. In prospettiva, se applicato ai 200 metri del Tokyo Dome, corrisponderebbe a una differenza di altezza di 0,006 mm all'interno dello stadio.
Inoltre, come caratteristica chiave del dispositivo, il tavolo utilizza un granito speciale per ridurre al minimo la variazione termica, garantendo una manutenzione di precisione a lungo termine.
Il nostro condizionatore dedicato alla correzione delle lastre di superficie e l'unità di rivestimento del portale ad altissima precisione offrono costantemente prestazioni di lavorazione di altissimo livello.
[SPP3800]
・L'unica macchina di lucidatura di tipo Oscar ad alta precisione al mondo compatibile con i fotomaschi a cristalli liquidi di decima generazione, in grado di ospitare lastre con una dimensione diagonale massima di 2400 mm.
La testa di presa ruota di 105 gradi durante il cambio del pezzo, consentendo un facile aggancio e sgancio dei pezzi.
La sezione di rettifica di questa macchina impiega materiali resistenti alla ruggine e una struttura a basso contenuto di polvere per evitare graffi sul pezzo.
・Il tavolo di lucidatura utilizza il granito per ridurre al minimo la deformazione termica causata dalla molatura, evitando così lo spostamento della planarità del tavolo.
Inoltre, poiché lo slurry viene alimentato da entrambi i lati del pezzo e dal centro del platorello, è possibile un'alimentazione stabile dello slurry su tutta la superficie del pezzo.
・Un braccio che fa ruotare radialmente la testa di lavoro pressurizzata sul tavolo di molatura, con funzioni di movimento sia girevole che verticale.
Il meccanismo di oscillazione di questo dispositivo è azionato da un servomotore CA, che consente di modificare la velocità di oscillazione, l'angolo di oscillazione e la pressione applicata durante l'esecuzione del processo.
