Seria SPP

[SPP9600].
Polerka podziałowa jest urządzeniem zdolnym do obróbki powierzchni wymagających absolutnej płaskości i lustrzanych wykończeń, takich jak płaskie powierzchnie optyczne, precyzyjne lustra, szkło optyczne i podstawowe powierzchnie odniesienia precyzyjnych przyrządów pomiarowych do produktów metalowych.
The flatness achieved by this device is 30 nm per square meter.

Dodatkowo, jako kluczową cechę urządzenia, stół wykorzystuje specjalistyczny granit, aby zminimalizować wahania termiczne, zapewniając długoterminową precyzję konserwacji.
Nasz dedykowany kondycjoner do korekcji płyt powierzchniowych i ultra-precyzyjna jednostka do napawania gantry konsekwentnie zapewniają najwyższy poziom wydajności obróbki.

[SPP3800].
・ Jedyna na świecie wysoce precyzyjna maszyna do polerowania typu Oscar kompatybilna z fotomaskami ciekłokrystalicznymi dziesiątej generacji, zdolna pomieścić płyty o maksymalnej przekątnej 2400 mm.
Głowica mocująca obraca się o 105 stopni podczas zmiany przedmiotu obrabianego, umożliwiając łatwe mocowanie i zdejmowanie przedmiotów obrabianych.
Sekcja szlifierska tej maszyny wykorzystuje materiały odporne na rdzę i konstrukcję o niskim zapyleniu, aby zapobiec zarysowaniom obrabianego przedmiotu.

・ Stół polerski wykorzystuje granit, aby zminimalizować odkształcenia termiczne spowodowane szlifowaniem, zapobiegając w ten sposób przesunięciu płaskości stołu.
Ponadto, ponieważ zawiesina szlifierska jest dostarczana z obu stron przedmiotu obrabianego i ze środka tarczy szlifierskiej, możliwe jest stabilne dostarczanie zawiesiny na całej powierzchni przedmiotu obrabianego.

Ramię, które promieniowo obraca głowicę roboczą pod ciśnieniem na stole szlifierskim, z funkcjami ruchu obrotowego i pionowego.
Mechanizm oscylacyjny tego urządzenia jest napędzany serwomotorem AC, umożliwiając zmiany prędkości oscylacji, kąta oscylacji i zastosowanego ciśnienia podczas wykonywania procesu.