SPP600S
Machine de polissage - équipée d'une large gamme de logiciels pour la recherche et le développement.
Concept
Équipement CMP convivial conçu pour être facile à utiliser et respectueux de l'environnement
Fonctionnalité
・Ce système CMP de type manuel est idéal pour les applications de recherche et de développement. Il prend en charge diverses méthodes de contrôle de la pression basées sur la surface avant ou arrière. Son interface conviviale vous permet de surveiller toutes les conditions de traitement sur un seul écran.
・Les réglages primaires de l'heure garantissent une collecte de données toujours stable. Les données obtenues à partir de cet appareil peuvent être reliées à la polisseuse entièrement automatique PNX332B et utilisées directement.
・Même lors du meulage avec un taux d'enlèvement de 10μm ou plus, la forme de la plaquette ne sera pas compromise. Elle est dotée d'une broche de dressage dédiée et est compatible avec les dresseurs diamantés.
En outre, il comporte des éléments de conception respectueux de l'environnement, tels qu'un mécanisme de recyclage des boues.
Spécifications techniques
| Taille maximale de la pièce / de la plaquette (mm) | Ø200 |
| Taille maximale de la plaquette (pouces) | 4"-12" |
| Diamètre du plateau (mm) | Ø600 |
| Plaquettes traitées simultanément (pcs) | 2 |
| Vitesse de rotation du plateau (min-¹) | 10-80 |
| Encombrement L×P×H (mm) | 1380×1110×1873 |
| Poids de la machine (kg) | 2100 |
