PNX332B
Une polisseuse finale automatique pour les plaquettes de 300 mm qui maximise la précision du profil des bords et l'uniformité du taux d'enlèvement au niveau le plus élevé possible.
CONCEPT
Une polisseuse finale qui adopte une tête de polissage et un mécanisme de transport spécialement structurés, permettant un traitement stable des plaquettes avec une grande précision et un débit élevé.
CARACTÉRISTIQUES
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La polisseuse finale de 300 mm la plus vendue.
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Permet de réaliser un polissage ultra-miroir à l'échelle atomique et à très haute luminosité.
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Dotée de trois tables de polissage, cette machine à haute productivité polit simultanément six gaufres, de l'étape intermédiaire à l'étape de finition, et utilise un système de transport indexé pour déplacer quatre gaufres en même temps.
Spécifications techniques
| Taille maximale de la plaquette (mm) | Ø300 mm |
| Plaquettes traitées simultanément (pcs) | 10 |
| Tables de polissage | 3 tables, 6 gaufres polies en même temps |
| Méthode de transport | Transport indexé, 4 plaques déplacées en même temps |
| Application | Polissage final des plaquettes de silicium |
