PNX332B
Automatyczna polerka końcowa do wafli 300 mm, która maksymalizuje dokładność profilu krawędzi i jednorodność szybkości usuwania do najwyższego możliwego poziomu.
KONCEPCJA
Polerka końcowa, która przyjmuje specjalnie skonstruowaną głowicę polerującą i mechanizm transportowy, umożliwiając stabilną obróbkę wafli z wysoką precyzją i wysoką przepustowością.
CECHY
-
Najlepiej sprzedająca się polerka końcowa 300 mm.
-
Osiąga ultra-lustro na poziomie atomowym i polerowanie o ultra-wysokiej jasności.
-
Dzięki trzem stołom do polerowania, ta wysokowydajna maszyna jednocześnie poleruje sześć wafli od etapu pośredniego do końcowego i wykorzystuje indeksujący system transportowy do przenoszenia czterech wafli w tym samym czasie.
Specyfikacja techniczna
| Maksymalny rozmiar płytki (mm) | Ø300 mm |
| Wafle przetwarzane jednocześnie (szt.) | 10 |
| Stoły / stopnie do polerowania | 3 stoły, 6 płytek polerowanych jednocześnie |
| Metoda transportu | Transport indeksujący, 4 płytki przenoszone jednocześnie |
| Zastosowanie | Końcowe polerowanie płytek krzemowych |
