Caractéristiques
[SPP9600]
・Le polisseur de pas est un appareil capable de traiter des surfaces nécessitant une planéité absolue et des finitions de type miroir, telles que les plans optiques, les miroirs de haute précision, le verre optique et les surfaces de référence de base des instruments de mesure de précision pour les produits métalliques.
La planéité obtenue par ce dispositif est de 30 nm par mètre carré. Pour mettre ce chiffre en perspective, s'il était appliqué au dôme de Tokyo de 200 mètres, il correspondrait à une différence de hauteur de 0,006 mm à l'intérieur du stade.
・En outre, la table utilise un granit spécialisé pour minimiser les variations thermiques, ce qui garantit une maintenance de précision à long terme.
Notre conditionneur dédié à la correction des plaques de surface et notre unité de surfaçage de portique de très haute précision offrent constamment le plus haut niveau de performance d'usinage.
[SPP3800]
・ La seule machine de polissage de haute précision de type Oscar au monde compatible avec les photomasques à cristaux liquides de 10e génération, capable d'accueillir des plaques d'une dimension diagonale maximale de 2400 mm.
La tête de maintien pivote de 105 degrés lors du changement de pièce, ce qui permet de fixer et de retirer facilement les pièces à usiner.
La section de meulage de cette machine utilise des matériaux résistants à la rouille et une structure à faible teneur en poussière pour éviter les rayures sur la pièce à usiner.
・La table de polissage utilise du granit pour minimiser la déformation thermique causée par le meulage, évitant ainsi le déplacement de la planéité de la table.
En outre, comme la boue de meulage est amenée des deux côtés de la pièce et du centre de la plaque de meulage, il est possible d'obtenir une alimentation stable en boue sur toute la surface de la pièce.
・ Un bras qui fait pivoter radialement la tête de travail pressurisée sur la table de meulage, avec des fonctions de pivotement et de mouvement vertical.
Le mécanisme d'oscillation de ce dispositif est entraîné par un servomoteur à courant alternatif, ce qui permet de modifier la vitesse d'oscillation, l'angle d'oscillation et la pression appliquée pendant l'exécution du processus.
